MOCVDグラファイトサセプタ

MOCVD グラファイト サセプタは、金属{0}}有機化学蒸着 (MOCVD) システム内の重要なコンポーネントです。これは、薄膜のエピタキシャル成長中に半導体基板を確実に保持し、均一に加熱するように設計された高温の熱伝導性プラットフォームとして機能します。-

木箱パッケージ

• 優れた熱伝導性により、迅速かつ均一な熱伝達を実現
• 極端な条件下でも高い機械的強度と寸法安定性を発揮
• 安定した基板配置のための滑らかで正確に機械加工された表面
• ガスの流れの力学と温度勾配に影響を与えるように設計されています

• エピ-層の均一な膜厚と優れた結晶品質を保証します。
• 安定した基板温度制御により、高いプロセス再現性と歩留まりを実現
• 耐食性により耐用年数が延長され、粒子汚染が減少します。
• 熱サイクルが繰り返されても構造の完全性を維持し、プロセスの信頼性を確保

• 主に、シリコン、炭化ケイ素、サファイアなどの基板上に化合物半導体層 (GaN、GaAs、InP など) をエピタキシャル成長させるための MOCVD リアクターで使用されます。
• 光電子デバイス（LED、レーザー ダイオード）や高周波（RF）パワー半導体の製造に不可欠です。{0}

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